Високочистий титан 99,8% класу 7 раундів, мішені для розпилення, мішень із титанового сплаву для заводу-постачальника покриттів
Параметри продукту
Назва продукту | Титанова мішень для машини для нанесення PVD-покриття |
Оцінка | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Цільовий сплав: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr тощо |
Походження | Місто Баодзі, провінція Шеньсі, Китай |
Вміст титану | ≥99,5 (%) |
Вміст домішок | <0,02 (%) |
Щільність | 4,51 або 4,50 г/см3 |
Стандартний | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Розмір | 1. Кругла мішень: Ø30--2000 мм, товщина 3,0 мм--300 мм;2. Цільова плита: Довжина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Товщина: 3--40 мм;3. Трубчаста мішень: діаметр: 30-200 мм, товщина: 5-20 мм, довжина: 500-2000 мм;4. Доступні індивідуальні налаштування |
Техніка | Ковані та оброблені на ЧПК |
Застосування | Розділення напівпровідників, плівкові покривні матеріали, покриття електродів для зберігання, напилення, поверхневе покриття, промисловість скляних покриттів. |
Хімічні вимоги до титанової мішені
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Елементарний вміст (≤мас.%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Інші | ||||
Чистий титан | Гр.1 | ТА1 | Клас 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Гр.2 | ТА2 | Клас 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
ТитанСплав | Гр.5 | ТК4Ti-6Al-4V | Клас60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
Гр.7 | ТА9 | Клас 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
Гр.12 | ТА10 | Клас60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 |
Поздовжні механічні властивості за кімнатної температури
Оцінка | Міцність на розтягRm/МПа(>=) | Межа плинностіRp0.2 (МПа) | ПодовженняA4D(%) | Зменшення площіZ(%) |
Гр1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Гр2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Гр5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Гр7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Гр12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титанові напилювальні мішені
Звичайний розмір титанової мішені для розпилення: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 тощо.
Також можна налаштувати відповідно до запитів або креслень замовника
Вимоги до матеріалу: висока чистота, однорідні кристалічні зерна та добра компактність.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процес виробництва титанової мішені
титанова губка --- виплавка в титановий злиток --- випробування --- різання злитка --- кування --- прокатка --- відшаровування --- рихтування --- ультразвукова дефектоскопія --- пакування
Особливості титанової мішені
1. Низька щільність та висока міцність за специфікаціями
2. Відмінна стійкість до корозії
3. Гарна стійкість до впливу тепла
4. Відмінне підшипник до кріогенної власності
5. Немагнітний та нетоксичний
6. Хороші теплові властивості
7. Низький модуль пружності