Мішені для напилення з титану високої чистоти 99,8% класу 7 раундів Мішень зі сплаву ti для постачальника покриття заводу
Параметри продукту
Назва товару | Титанова мішень для машини для покриття PVD |
Оцінка | Титан (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)Цільовий сплав: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr тощо |
Походження | Місто Баодзі, провінція Шеньсі, Китай |
Вміст титану | ≥99,5 (%) |
Вміст домішок | <0,02 (%) |
Щільність | 4,51 або 4,50 г/см3 |
Стандартний | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Розмір | 1. Кругла мішень: Ø30--2000 мм, товщина 3,0 мм--300 мм;2. Тарілка пластини: Довжина: 200-500 мм Ширина: 100-230 мм Товщина: 3--40 мм;3. Цільова трубка: діаметр: 30-200 мм, товщина: 5-20 мм, довжина: 500-2000 мм;4. Індивідуальний доступний |
Техніка | Ковані та оброблені з ЧПУ |
застосування | Розділення напівпровідників, матеріали для плівкових покриттів, покриття електродів для зберігання, напилення, покриття поверхонь, виробництво скляних покриттів. |
Хімічні вимоги до титанової мішені
ASTM B265 | GB/T 3620,1 | JIS H4600 | Вміст елементів (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | інші | ||||
Чистий титан | Гр.1 | TA1 | Клас1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Гр.2 | TA2 | Клас2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
Титансплав | Гр.5 | TC4Ti-6Al-4V | Клас60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Гр.7 | TA9 | 12 клас | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
Гр.12 | TA10 | Клас60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo: 0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 |
Поздовжні механічні властивості при кімнатній температурі
Оцінка | Міцність на розривRm/MPa (>=) | Межа текучостіRp0,2 (МПа) | ПодовженняA4D (%) | Зменшення площіZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Титанові мішені для напилення
Загальний розмір титанової мішені для розпилення: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 тощо.
Також можна налаштувати відповідно до запитів або креслень замовника
Цільові вимоги: висока чистота, однорідні кристалічні зерна та хороша компактність.
Чистота: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Процес виробництва Titanium Target
титанова губка --- виплавляється на титановий злиток --- випробування --- різання злитка --- кування --- прокатка --- лущення --- правка --- ультразвукова дефектоскопія --- пакування
Особливості титанової мішені
1. Низька щільність і висока міцність
2. Чудова стійкість до корозії
3. Хороша стійкість до впливу тепла
4. Чудовий підшипник до кріогенних властивостей
5. Немагнітний і нетоксичний
6. Хороші теплові властивості
7. Низький модуль пружності